近来,首台国产商业场发射透射电子显微镜TH-F120在广州发布,这标志着我国已把握透射电镜用的电子枪等核心技术,并具有量产透射电镜整机产品的才能。
“这对于我国脱节进口依靠、完成高水平科技自立自强具有重大意义。”中国科学院院士、生物岛试验室主任徐涛介绍,这将打破国内透射电镜100%依靠进口的局势,场发射透射电子显微镜将为我国在资料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业范畴的高水平质量的展开供给有力支撑。
此前,我国透射电镜100%依靠进口,国产化尚属空白。2022年,我国进口透射电镜约300台,进口总额超30亿元,估计2022年至2028年期间,年复合增长率超5.8%。“咱们调集了有志于从事国产电镜自主研发的科学家和工程师。”生物岛试验室研讨员孙飞介绍,其间既有来自国内外学界的科研人才,也有在产业界深耕扫描电子显微镜多年的领军人物,“咱们都抱有相同的愿景,便是造出咱们的祖国自己的透射电镜。”
“新资料比方锂电资料的研讨,有必要用到透射电镜。”广州慧炬科技有限公司总经理曹峰介绍,在生命科学研讨范畴,它可以正常的看到蛋白质的生物结构;用在集成电路范畴,能轻松完成半导体的缺点查验测验;用在新资料范畴,可展开锂电池的研发等等。
“比较于进口的同等级产品,TH-F120的优势仍是清楚明了的。”曹峰表明。据了解,该电镜具有自主研发的高亮度场发射电子枪,比较于同级进口产品的热发射电子枪,亮度更高,发射安稳性和相干性更优,匹配自主研发的电磁透镜体系,针对120kV成像渠道特别优化电子光学规划,能带来更佳的图画衬度和分辨率。此外,自主研发的高安稳性低纹波高压电源,能保证电子枪安稳发射;自主研发的高像素CMOS相机,在低电子剂量的工况下仍可出现丰厚的样品细节。(经济日报记者 郑杨)