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【48812】EUV光刻机3大中心:2大来自德国1大来自美国ASML担任拼装

时间: 2024-08-06 13:26:17 |   作者: 环球体育官网链接

  众所周知,芯片范畴有一种很重要、关心的设备,我国技能相对落后,即光刻机,芯片制作的根本设备之一。特别是EUV光刻机,现在世界上只要ASML能够制作,许多人称EUV光刻机是人类制作的最杂乱的机器之一,所以ASML也被许多人奉为“祭坛”,乃至说“给你一整套图纸,你不能制作光刻机”。

  但假如你想让我说,ASML实际上仅仅一个装配厂,它整合了全球供应链,终究拼装了什么EUV光刻机,你会怎么想?EUV光刻机的原理是什么?说起来超级简略,便是激光影响13.5nm波长的极紫外线,然后矫正后构成一束可控光,然后用能量控制器将这束光投射到光罩台上,再经过物镜投射到曝光台上,终究在涂有光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。

  EUV光刻机有三种中心技能,即尖端光源(激光体系)、高精度镜头(物镜体系)、精密仪器制作技能(工作台)。激光体系是一种发生极紫外线的体系,来自美国公司Cymer,2012年被ASML收买。高精度镜头,即激光收集成束和物镜体系,技能来源于德国蔡司,蔡司提出了世界上最平整的功能元件,即分布式布拉格反射器。第三项中心技能,即精密仪器制作技能,也来自德国。就连中心一中的全体包装计划也是德国TRUMPF公司供给的。

  据媒体报道,一台EUV光刻机有10多万个零件,其间ASML只把握了不到10%的中心技能,其他90%依托ASML全球整合资源,乃至需求全球进口。ASML最大的才能是了解客户的实在需求,整合供应链,终究拼装光刻机。其时ASML与台积电协作,世界上第一台浸透光刻机注定要成为这一特色。其时,尼康和佳能是光刻机的大哥。ASML仅仅一个小工厂。台积电主张用水作为介质。尼康和佳能高傲自负,以为这是个坏主意。ASML是一家小工厂,看不到期望。或许自行车变成了摩托车。终究,这场战役让ASML走出了未来。

  所以ASML尝到了甜头,知道到了实际,也便是说,最重要的是看看各大晶圆厂需求什么样的东西,然后在全世界内找到供应链,然后和客户一同研讨试验,拼装客户要的东西。而不是沉浸在研讨中,终究发现客户不需求这么多东西,这是研制的失利,这是ASML的优势,也是芯片职业的森林规律,也便是解救游戏,把大利集团绑缚在一同,是中心。



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