日前，国家严重科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和使用”项目在北京经过科技部检验，这标志着这一纳米研讨范畴的高端科学仪器完结了国产化。

  该项目由中国科学院部属公司北京中科科仪股份有限公司承当研发作业。在项目技能归纳检验会上，科技部检验专家组现场听取了项目完结状况汇报，观看了项目视频，听取了异地测验状况汇报。与会专家组成员以为项目如期完结了任务书规则的项目方针及各项查核目标，构成两款产品并已连续交给。专家组对项目完结状况给予高度评价，都赞同经过检验。

  该项目突破了高分辩电子光学成像体系模块规划、场发射枪工程化规划制作、电子束加快镜筒规划制作等多项关键技能，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辩率目标别离到达和优于@30kV，到达世界一流水平。

  中科科仪董事长兼项目负责人张永明表明，该项目促进了我国电子光学仪器工业的开展，使我国扫描电镜研发水平上了一个台阶，有用处理当时“卡脖子”问题，打破了国外产品的独占局势。“项目对推进和进步我国前沿科学研讨、严重工程和战略型新鼓起的工业高端配备的国产化和自主化水平有着积极意义。”

  据了解，场发射枪扫描电子显微镜是纳米科学技能研讨必不可少的东西，为前沿科学技能研讨供给重要支撑，提高高端科学仪器研发水平，促进精细制作业开展，满意半导体技能、生命科学、环境保护等范畴的火急需求。