金融界 2024 年 9 月 18 日消息,天眼查知识产权信息数据显示,浙江蓝特光学股份有限公司申请一项名为“一种晶圆片视觉检测设备及检测的新方法“,公开号 CN2.0 ,申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆片视觉检测设备,涉及晶圆片生产领域,包括工作台,所述工作台的上方通过升降机构连接有定位框,所述定位框内侧一端设置有视觉检验测试的机构,且定位框内侧另一端设置有进出料机构。本发明将视觉检验测试的机构与进出料机构设置在一个共同的定位框上,还对晶圆篮做了改动,视觉检验测试的机构与进出料机构通过定位框共同垂直升降,然后配合进出料机构的直线运动,即可对晶圆篮内的每一层晶圆片进行视觉检测,采用垂直升降检测的方式,运动行程少,运动范围小,中间消耗时间断,进一步提升了晶圆片检测的效率,而且检验测试的机构与进出料机构始终位于同一高度,不需要在额外调整视觉检验测试的机构的高度。
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